#ФАЙЛ:
240-0793.INF
#ТЕМА:
Литография высокого разрешения в технологии полупроводников
#НАЗАЧЕИЕ:
#ФОРМАТ:
WinWord&CorelDraw
#АВТОР:
Тимофеев А.
#СДАВАЛСЯ:
1. Калужский филиал Московского Государственного Технического Университета,
   НИРС, преп. Головатый Ю.П.
#ПРИМЕЧАНИЕ