#ФАЙЛ: 240-0834.INF #ТЕМА: Субмикронная литография #НАЗНАЧЕИЕ: #ФОРМАТ: WinWord&CorellDraw #АВТОР: Тимофеев А.Ю. (mrd@kaluga.rosmail.com) #СДАВАЛСЯ: 1. КФ МГТУ им.Баумана, преп. Головатый Ю.П., "отлично", 1996 #ПРИМЕЧАНИЯ: